磨く
磨く
ガラス基板（液晶パネル：LCD、有機ELパネル：OLED、タッチパネル：TP）の製造工程において、カレット（ガラス屑）や有機物（油膜）がガラス基板の表裏面に付着することがあります。
そのような異物が付着しているガラス基板の表裏面に光学フィルム、保護フィルム、偏光板等を貼り付けると異物起因の気泡が発生して、歩留まりの低下を招くことになります。
そのため、ガラス基板（液晶パネル：LCD、有機ELパネル：OLED、タッチパネル：TP）の研磨洗浄装置には、表裏面から異物を確実に除去する役割を求められています。
その異物を取り除く重要な工程に、研磨PADを使用した「磨く」プロセスを提案しています。
特徴
研磨PADで異物（ガラスカレット）や有機物（油膜）を除去します。
専用の研磨パッドを使用したメカニカルポリッシングにより、、ガラス基板（液晶パネル：LCD、有機ELパネル：OLED、タッチパネル：TP）表裏面に付着した異物（ガラスカレット等）や有機物（油膜等）のみを確実に除去します。高精度バックアップで研磨力を維持します。
研磨パッドの裏側に高精度バックアップを配置して、単位面積辺りの接触量を最大限向上させて研磨力を維持します。
また均等にガラス基板（液晶パネル：LCD、有機ELパネル：OLED、タッチパネル：TP）に接触することで、研磨時のストレスを軽減させて強度低下を防ぎます。薄型基板にも対応します。
研磨パッドの裏側に高精度バックアップを配置して、単位面積辺りの接触量を最大限向上させて研磨力を維持します。
ガラス基板（液晶パネル：LCD、有機ELパネル：OLED、タッチパネル：TP）の薄型（0.3㎜）にも対応します。
ガラス研磨洗浄装置
PPシリーズ
