ロールtoロールと清掃・打抜き・剥離・貼付け(ウェブハンドリング)プロセスを組み合わせた装置化技術を提案します。

洗う

洗う洗う

ガラス基板(液晶パネル:LCD、有機ELパネル:OLED、タッチパネル:TP)の研磨工程において、除去した異物(カレット:ガラス屑、有機物:油膜)がガラス基板表面に再付着することがあります。
そのため、ガラス基板(液晶パネル:LCD、有機ELパネル:OLED、タッチパネル(TP)の研磨洗浄装置には、再付着した異物を除去する役割を求められています。
その異物を取り除く重要な工程に、2流体洗浄を使用した「洗う」プロセスを提案しています。

特徴

  • 2流体洗浄で汚れ(砥粒、パーティクル)を除去します。
    高圧2流体洗浄により、噴霧状態にして、 ガラス基板(液晶パネル:LCD、有機ELパネル:OLED、タッチパネル:TP)表 裏面の汚れ(砥粒、パーティクル、ほこり)を洗い落とします。

  • リンス洗浄で細かな汚れ(パーティクル、ほこり)を確実に洗い落とします。
    流量分布が均一な純水リンス洗浄でガラス基板(液晶パネル:LCD、有機ELパネル:OLED、タッチパネル:TP)表裏面に わずかに残った汚れ(パーティクル、ほこり)も洗い落とします。

  • エアーナイフで高速乾燥します。
    オリジナルのエアーナイフでエアーを均一に吐出して、ガラス基板(液晶パネル:LCD、有機ELパネル:OLED、タッチパネル:TP)表裏面を乾燥します。

Product Information 製品情報
ガラス研磨洗浄装置 PPシリーズ

ガラス研磨洗浄装置
PPシリーズ

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