製品情報

フレキシブル・デバイス製造装置

キャリアガラス・デラミ装置(メカニカル剥離)

キャリアガラス付きのフィルム基板(フレキシブルデバイス等)のキャリアガラス側からメカニカル剥離(デラミネーション)する装置です。フィルム基板を水平保持させた状態で剥離(デラミネーション)するため、フィルム基板側のストレスを抑制します。

GDシリーズ

GDシリーズ

<実績ワークサイズ>
G6ハーフ