プロセス - 洗う -

洗う

タッチパネル(TP、オンセル、OGS)やパネル(液晶パネル;LCD、有機ELパネル;OLED)などの製造において、表面研磨処理の後で除去した異物(カレット、有機物)がパネル表面に再付着することがあります。
研磨の後処理には、パネル表面の汚れ(パーティクル、ほこり)を確実に洗い落として乾燥させるプロセスが求められています。

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特徴

  • 汚れ(パーティクル、ほこり)を確実に除去します。
    高圧2流体洗浄により、噴霧状態にして、 パネル表面の汚れ(パーティクル、ほこり)を洗い落とします。

  • 純水リンスで細かな汚れ(パーティクル、ほこり)を洗い落とします。
    流量分布が均一な純水リンス洗浄でパネル表面に わずかに残った汚れ(パーティクル、ほこり)も洗い落とします。

  • エアーナイフで高速乾燥します。
    オリジナルのエアーナイフでエアーを均一に吐出して、表面を乾燥します。

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